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攻克關鍵技術 東方晶源 ILT 技術劍指先進制程

來源: 責編: 時間:2024-09-24 10:33:51 225觀看
導讀 計算光刻作為現代芯片制造光刻環節的核心技術之一,其發展經歷了從規則導向到模型驅動的轉變。然而,隨著制程邁向 7nm 乃至 5nm 節點,傳統方法因規則局限、優化自由度不足等制約,難以滿足復雜芯片設計的高要求。在

計算光刻作為現代芯片制造光刻環節的核心技術之一,其發展經歷了從規則導向到模型驅動的轉變。然而,隨著制程邁向 7nm 乃至 5nm 節點,傳統方法因規則局限、優化自由度不足等制約,難以滿足復雜芯片設計的高要求。在此背景下,反向光刻技術(ILT)以其獨特的優化思路應運而生。LKY28資訊網——每日最新資訊28at.com

ILT 即從目標芯片圖案出發,逆向推導獲得最優化掩模圖案,極大地提升優化的靈活性和精準度,更能滿足先進制程對圖形精度的苛刻需求。因此,在探索 7nm 及以下制程的征途中,ILT 技術無疑將是提升制造良率的關鍵技術。尤其在尖端光刻設備受限的國內環境下,其重要性更是不言而喻。LKY28資訊網——每日最新資訊28at.com

ILT 并非一種新興技術,但其存在諸如計算量大效率低,掩模復雜度高難于制造等技術難點,長期以來尚未得到廣泛應用。作為探索 ILT 技術的先驅之一,東方晶源 ILT 采用 GPU 集群高性能計算解決方案,解決了計算量大的難題,率先實現了全芯片級別的基于 ILT 技術的掩模優化。面對 7/5nm 等先進制程的迫切需求,近期東方晶源 ILT 解決方案又成功攻克眾多技術難題,包括優化收斂性、結果一致性、人工智能加速、掩模復雜度重整化等,目前正在國內各大 Fab 廠商加緊驗證。LKY28資訊網——每日最新資訊28at.com

革新后的東方晶源 ILT 解決方案其主要特點及優勢體現在以下幾個方面:LKY28資訊網——每日最新資訊28at.com

獨創的混合掩模優化方法,顯著降低計算復雜度,提升整體計算效率,特別是在優化輔助曝光信號的同時考慮三維掩模效應,提供更為精準的掩模結果。LKY28資訊網——每日最新資訊28at.com

引入人工智能技術進一步解決 ILT 所需運算時間長的弊端,其深度學習模型預測結果與 ILT 計算結果相似度高達 95%,同時獲得近十倍的提速。LKY28資訊網——每日最新資訊28at.com

支持矩形圖形(Rectangle)、曼哈頓圖形(Manhattan)以及曲線圖形(Curvilinear)的不同復雜度掩模設計,適應不同客戶及應用場景需求。LKY28資訊網——每日最新資訊28at.com

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圖 1 人工智能賦能東方晶源全芯片 ILT 解決方案LKY28資訊網——每日最新資訊28at.com

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圖 2 PanGen ILT? 支持生成不同復雜度的掩模圖形LKY28資訊網——每日最新資訊28at.com

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圖 3 PanGen ILT? 結果相比傳統 OPC 結果工藝窗口增大超過 10%LKY28資訊網——每日最新資訊28at.com

東方晶源自 2014 年成立以來,在計算光刻領域持續創新,構建了全面且領先的技術體系,旗下計算光刻平臺 PanGen? 已經形成八大產品矩陣,包括 Model、DRC、SBAR、OPC、LRC、DPT、SMO、DMC,具備完整的計算光刻相關 EDA 工具鏈條,并已在國內各大 Fab 廠商廣泛應用,量產掩模超 6000 張。隨著 ILT 解決方案的不斷革新,其在效率和性能上的優勢更加突顯,必將在先進制程研發和應用中發揮重要作用,在提升良率、降低生產成本方面展現出獨特的價值。展望未來,東方晶源將持續堅持技術創新,提供卓越的解決方案,為我國半導體產業的發展和進步貢獻智慧和力量。LKY28資訊網——每日最新資訊28at.com

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