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中央硝子開發無PFAS半導體光阻劑,希望擠入光阻劑市場

來源: 責編: 時間:2025-02-27 08:27:13 183觀看
導讀中央硝子成功研發出不使用全氟和多氟烷基物質(PFAS)的半導體光阻劑,計劃2028年量產。隨著半導體制造商推進PFAS減量,中央硝子搶占先機推出新材料。據日經新聞與官網數據,近年來環保要求提升,市場對無PFAS新材料需求增加。中

中央硝子成功研發出不使用全氟和多氟烷基物質(PFAS)的半導體光阻劑,計劃2028年量產。隨著半導體制造商推進PFAS減量,中央硝子搶占先機推出新材料。
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據日經新聞與官網數據,近年來環保要求提升,市場對無PFAS新材料需求增加。中央硝子實現ArF浸潤式光阻劑關鍵材料PFAS無害化,將持續推動產品化。WpA28資訊網——每日最新資訊28at.com


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中央硝子與比利時微電子研究中心簽署共同開發協議,加速研發無PFAS ArF浸沒式光阻劑。雙方將于2025年2月在美國舉行的國際學術會議上發表研究成果及計劃。WpA28資訊網——每日最新資訊28at.com


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PFAS種類超過4700種,其中PFOS與PFOA因健康風險在日本被禁。盡管PFAS影響尚缺乏充分科學證據,歐洲化學品管理局已提出全面限制PFAS提案。WpA28資訊網——每日最新資訊28at.com


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臺積電日本子公司與Rapidus也關注PFAS問題。在半導體等領域,部分PFAS材料難以替代,如何消除疑慮成為廠商課題。中央硝子以不含PFAS為賣點,希望擠入光阻劑市場。WpA28資訊網——每日最新資訊28at.com


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