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加州大學(xué)圣巴巴拉分校將生長(zhǎng)Ga₂O₃，用于功率器件和射頻器件，而圣母大學(xué)將生產(chǎn)SiC芯片，用于量子計(jì)算KRZ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

Agnitron Technology總部位于明尼蘇達(dá)州，是一家專業(yè)MOCVD公司，今年夏季在美國(guó)兩所大學(xué)安裝了定制系統(tǒng)。一個(gè)是加州大學(xué)圣巴巴拉分校，利用該系統(tǒng)生長(zhǎng)超寬帶隙(UWBG) Ga₂O₃，用于功率器件和射頻器件。另一個(gè)是印第安納州圣母大學(xué)，利用該系統(tǒng)開(kāi)發(fā)寬帶隙(WBG) SiC器件，用于量子計(jì)算。KRZ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

2023年7月，Agnitron在加州大學(xué)圣巴巴拉分校安裝了研發(fā)氧化鎵的MOCVD Agilis 100系統(tǒng)，并證明該系統(tǒng)達(dá)標(biāo)。Agnitron和加州大學(xué)圣巴巴拉分校已經(jīng)在類似領(lǐng)域合作了5年多，但新安裝的系統(tǒng)意味著，加州大學(xué)圣巴巴拉分校可以自主生長(zhǎng)材料，從而獲得更強(qiáng)的靈活性和創(chuàng)新性。KRZ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

加州大學(xué)圣巴巴拉分校的Agnitron Agilis 100系統(tǒng)具有六個(gè)金屬有機(jī)通道、兩條氧化前體線和硅摻雜能力，在高達(dá)1100°C的襯底工藝溫度下，可以進(jìn)行生長(zhǎng)。該系統(tǒng)采用第二代遠(yuǎn)程注入，附加了近距離注入噴頭，還擁有用來(lái)控制生長(zhǎng)參數(shù)的原位高溫測(cè)量和反射測(cè)量，以及Agnitron最新的軟件控制平臺(tái)Imperium。KRZ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

據(jù)該公司稱，與其他技術(shù)相比，該系統(tǒng)顯著減少了氣相反應(yīng)，且在直徑兩英寸的晶圓上具有出色的厚度均勻性。此外，Agnitron表示Agilis 100 MOCVD平臺(tái)也可以輕松轉(zhuǎn)換，用來(lái)生長(zhǎng)GaN外延層和AlN外延層。KRZ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

領(lǐng)導(dǎo)加州大學(xué)圣巴巴拉分校Ga₂O₃研究的Sriram Krishnamoorthy教授表示：“我們期待與Agnitron合作，以進(jìn)一步開(kāi)發(fā)超寬帶隙Ga₂O₃，合金和異質(zhì)結(jié)構(gòu)的外延層，并將其轉(zhuǎn)化為可創(chuàng)紀(jì)錄的器件性能。我們之前在猶他大學(xué)使用過(guò)Agnitron Agilis氧化鎵MOCVD系統(tǒng)，我們很高興能夠重復(fù)并改善這一經(jīng)驗(yàn)，獲得品質(zhì)最高的外延薄膜。”KRZ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

Agnitron銷售副總監(jiān)Paul Fabiano評(píng)論道：“我們很高興與加州大學(xué)圣巴巴拉分校在UWBG材料方面進(jìn)行合作。對(duì)于未來(lái)的射頻器件技術(shù)和功率器件技術(shù)來(lái)說(shuō)，MOCVD Agilis 100系統(tǒng)是一個(gè)至關(guān)重要，且不斷擴(kuò)展的材料系統(tǒng)。”KRZ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

此外，今年夏季，Agnitron向圣母大學(xué)工程學(xué)院交付了MOCVD/CVD工具。該系統(tǒng)名為Agilis Mini，將開(kāi)發(fā)SiC器件，用于量子計(jì)算。Agnitron總裁兼首席執(zhí)行官Andrei Osinsky表示：“Agnitron今年推出了Agilis Mini，與Agilis 100相同，Agilis Mini為研究團(tuán)隊(duì)提供了最先進(jìn)的屬性，但其預(yù)算更為有限。隨著時(shí)間的推移，該工具可以通過(guò)其他技術(shù)得到增強(qiáng)和升級(jí)。然而，Agilis Mini開(kāi)箱即用，可以滿足客戶當(dāng)前的研發(fā)需求。”KRZ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

圣母大學(xué)的chris Henkle表示：“我們需要一種新型工具來(lái)制造品質(zhì)最高的SiC，用于量子互連。之所以選擇Agnitron的Mini-Agilis，是因?yàn)樵摴镜穆曌u(yù)和工具設(shè)計(jì)，其中工具設(shè)計(jì)能為使用壽命長(zhǎng)的量子位提供所需純度。”KRZ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

圣母大學(xué)的工程潔凈室正在安裝該工具。其所在建筑中還設(shè)有許多其他類型的半導(dǎo)體設(shè)備和實(shí)驗(yàn)室，供學(xué)生和教師使用。KRZ28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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