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TechInsights:預(yù)計(jì) ASML High NA EUV 光刻機(jī)功耗約 1400 千瓦

來源: 責(zé)編: 時(shí)間:2024-11-05 08:18:07 167觀看
導(dǎo)讀 11 月 4 日消息,TechInsights 在當(dāng)?shù)貢r(shí)間 10 月 24 日的分析中表示,每臺(tái) ASML 0.33 NA EUV 光刻機(jī)的功耗就已經(jīng)達(dá)到了 1170 kW,而 0.55NA (High NA) 光刻機(jī)的功耗預(yù)計(jì)將進(jìn)一步增長至 1400 kW(IT酷哥注:大致與 1000

11 月 4 日消息,TechInsights 在當(dāng)?shù)貢r(shí)間 10 月 24 日的分析中表示,每臺(tái) ASML 0.33 NA EUV 光刻機(jī)的功耗就已經(jīng)達(dá)到了 1170 kW,而 0.55NA (High NA) 光刻機(jī)的功耗預(yù)計(jì)將進(jìn)一步增長至 1400 kW(IT酷哥注:大致與 1000 臺(tái)滿載運(yùn)行的電火鍋相當(dāng))。deU28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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▲ ASML 0.33 NA EUV 光刻機(jī)

根據(jù)該機(jī)構(gòu)統(tǒng)計(jì),目前有 31 家晶圓廠采用 EUV 光刻,到 2030 年將增長至 59 家,而 EUV 光刻設(shè)備的數(shù)量增幅則將超過 100%。deU28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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▲ASML 0.55 NAEUV 光刻機(jī)

總體來看 2030 年全球僅 EUV 光刻機(jī)就會(huì)消耗 6100 GWh 的電力,這與盧森堡、柬埔寨兩國 2020 年的全國用電量不相上下。而半導(dǎo)體晶圓廠中EUV 光刻機(jī)僅占到總用電量的 11% 左右,其它工藝設(shè)備和 HVAC 暖通空調(diào)系統(tǒng)也會(huì)創(chuàng)造龐大的碳足跡。deU28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

分析機(jī)構(gòu)表示,半導(dǎo)體行業(yè)正處于十字路口。一方面,EUV 光刻技術(shù)對于推動(dòng)創(chuàng)新和滿足對先進(jìn)芯片日益增長的需求至關(guān)重要;另一方面,EUV 光刻技術(shù)對能源的影響巨大。deU28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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