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南大光電:兩款ArF光刻膠已進入批量驗證階段

來源: 責編: 時間:2023-09-11 22:35:24 361觀看
導讀近日,南大光電發布投資者關系活動記錄表,透露旗下已有兩款 ArF 光刻膠進入批量驗證階段。南大光電表示,ArF光刻膠驗證階段主要分為PRS(光刻膠性能測試)、STR(小試)、MSTR(批量驗證)及Release(通過驗證)四個階段。公司已有兩款膠

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南大光電表示,ArF光刻膠驗證階段主要分為PRS(光刻膠性能測試)、STR(小試)、MSTR(批量驗證)及Release(通過驗證)四個階段。公司已有兩款膠通過客戶驗證,多款膠正在驗證過程中。驗證中的ArF光刻膠因開始時間不一,驗證進度也不同,其中有兩款膠進入MSTR階段。PpR28資訊網——每日最新資訊28at.com


南大光電稱,當前公司光刻膠事業部主要任務是盡快完成更多產品的驗證,加強市場拓展,爭取早日實現規模量產,形成業績貢獻。公司用于生產ArF光刻膠的核心原材料,由公司自主研發,對于國內具備供應能力的原材料,通過外購解決。PpR28資訊網——每日最新資訊28at.com


同時,南大光電透露,公司去年發行可轉換公司債券募集資金9億元,其中8000萬元用于實施“年產140噸高純磷烷、砷烷擴產及砷烷技改項目”,計劃通過擴建和技改,增加磷烷年產能70噸、砷烷年產能70噸。截至目前,項目已建成70噸砷烷產能和35噸磷烷產能,后續建設正在穩步推進中PpR28資訊網——每日最新資訊28at.com


封面圖片來源:拍信網PpR28資訊網——每日最新資訊28at.com


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