到2023年底,ASML在中國大陸的設(shè)備安裝數(shù)量將接近1400臺。盡管美國對中國的芯片出口管制日益嚴(yán)格,但ASML在中國市場的業(yè)績卻創(chuàng)下了新高。
據(jù)ASML全球副總裁、中國區(qū)總裁沈波透露,自1988年第一臺機(jī)器運(yùn)到中國以來,到2023年底,ASML在中國大陸的曝光機(jī)加上量測設(shè)備的總裝機(jī)量將接近1400臺。
然而,這25年間,ASML在中國大陸裝機(jī)的EUV機(jī)臺數(shù)量為零,那么DUV曝光機(jī)又有多少臺呢?其中又有多少臺是可以幫助實現(xiàn)先進(jìn)制程的浸潤式DUV機(jī)臺呢?
根據(jù)ASML的年報數(shù)據(jù),包括浸潤式和乾式DUV機(jī)臺在內(nèi),由于產(chǎn)能有限,ASML全球每年的出貨量大約在100到200臺之間,直到2021年才首次突破200臺;至于在中國大陸的營收貢獻(xiàn)度,從2015年開始才單獨(dú)公布,起初占比不到10%。
據(jù)業(yè)界人士消息和估計,中國企業(yè)目前擁有約300臺可以量產(chǎn)先進(jìn)制程的浸潤式DUV曝光機(jī),其中已裝機(jī)近百臺,另外還有約200臺的庫存。
但需要注意的是,這些能夠量產(chǎn)先進(jìn)制程的浸潤式DUV機(jī)臺并不一定全部應(yīng)用于先進(jìn)制程。實際上,它們的主要用途仍然是按照ASML的出廠設(shè)定功能,主要聚焦于中端和成熟制程。然而,一些中國企業(yè)通過多重曝光等技術(shù)手段,使得這些機(jī)臺理論上可以用于生產(chǎn)7納米及以下的芯片。
換言之,如果簡單地把已裝機(jī)數(shù)量和庫存加起來計算,在美國芯片設(shè)備禁令生效后(預(yù)計在2024年元旦),中國企業(yè)在現(xiàn)有的300臺設(shè)備基礎(chǔ)上再想大量采購高端DUV機(jī)臺會面臨很大困難。這也是為什么在2023年ASML向中國市場的出貨量會大幅增長的原因之一——中國企業(yè)想在禁令生效前抓緊采購設(shè)備。
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