據(jù)俄羅斯衛(wèi)星通訊社3月25日?qǐng)?bào)道，莫斯科“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司宣布完成了俄羅斯首臺(tái)350納米光刻機(jī)的研發(fā)工作，這標(biāo)志著俄羅斯在微芯片生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域取得了重要突破。該設(shè)備將用于微電子產(chǎn)品的生產(chǎn)，包括汽車(chē)、航空航天、工業(yè)自動(dòng)化和消費(fèi)電子等多個(gè)領(lǐng)域。
莫斯科市長(zhǎng)謝爾蓋·索比亞寧在“電報(bào)”頻道上發(fā)文稱(chēng)，全球能夠制造光刻機(jī)的國(guó)家不到10個(gè)，俄羅斯已成功躋身這一行列。他表示，這一設(shè)備的問(wèn)世是俄羅斯向自主生產(chǎn)微電子產(chǎn)品和實(shí)現(xiàn)技術(shù)獨(dú)立邁出的重要一步。與國(guó)外同類(lèi)設(shè)備相比，俄羅斯的光刻機(jī)首次采用固體激光器作為輻射裝置，取代了傳統(tǒng)的汞燈。固體激光器具有功率大、能效高、耐用性強(qiáng)以及光譜更窄的優(yōu)勢(shì)。
公司總經(jīng)理阿納托利·科瓦列夫透露，這一項(xiàng)目是在與白俄羅斯“Planar”工廠的合作下完成的。2024年12月，設(shè)備通過(guò)測(cè)試并獲得國(guó)家委員會(huì)的認(rèn)可，所有申報(bào)的技術(shù)特征均得到驗(yàn)證。目前已有客戶購(gòu)買(mǎi)了這一設(shè)備，工藝流程正根據(jù)用戶需求進(jìn)行調(diào)整。
據(jù)悉，這款光刻機(jī)的工作區(qū)域面積達(dá)到22x22毫米，可加工最大直徑為200毫米的晶圓，主要用于電力電子和光子學(xué)領(lǐng)域的微電子設(shè)備生產(chǎn)。莫斯科市投資和工業(yè)政策局表示，“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司已具備批量生產(chǎn)該設(shè)備的能力，同時(shí)還在研發(fā)130納米光刻機(jī)，預(yù)計(jì)2026年完成。
莫斯科政府部長(zhǎng)兼投資和工業(yè)政策局局長(zhǎng)阿納托利·加爾布佐夫指出，莫斯科是俄羅斯微電子產(chǎn)業(yè)的核心，占全國(guó)微電子企業(yè)總營(yíng)收的40%。光子學(xué)和微電子學(xué)的發(fā)展在通信、傳感技術(shù)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景，“莫斯科科技城”經(jīng)濟(jì)特區(qū)的入駐企業(yè)正在推進(jìn)多個(gè)戰(zhàn)略性項(xiàng)目。

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