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佳能宣布發售新一代i線步進式光刻機:性能大增

來源: 責編: 時間:2023-08-07 16:29:48 331觀看
導讀 12月7日,日本佳能宣布將于2023年1月上旬發售面向后道工藝的半導體光刻機新產品——i線步進式光刻機“FPA-5520iV LF2 Option”。據了解,在半導體芯片的制造工藝中,光刻機

12月7日,日本佳能宣布將于2023年1月上旬發售面向后道工藝的半導體光刻機新產品——i線步進式光刻機“FPA-5520iV LF2 Option”。orP28資訊網——每日最新資訊28at.com

據了解,在半導體芯片的制造工藝中,光刻機負責“曝光”電路圖案。在曝光的一系列工藝中,在硅晶圓上制造出半導體芯片的工藝稱為前道工藝。orP28資訊網——每日最新資訊28at.com

保護精密的半導體芯片不受外部環境的影響,并在安裝時實現與外部的電氣連接的封裝工藝稱為后道工藝。orP28資訊網——每日最新資訊28at.com

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佳能介紹,新款i線步進式光刻機通過0.8μm的高解像力和拼接曝光技術,使100 x 100mm的超大視場曝光成為可能,從而實現2.5D和3D技術相結合的超大型高密度布線封裝的量產。orP28資訊網——每日最新資訊28at.com

和去年4月發售的前一代產品“FPA-5520iV LF Option”相比,新品能夠將像差抑制至四分之一以下,視場尺寸也較52x68mm大幅增加。orP28資訊網——每日最新資訊28at.com

所謂i線也就是光源來自波長365nm的水銀燈,和EUV光刻機使用的13.5nm波長激光等離子體光源區別明顯。orP28資訊網——每日最新資訊28at.com

按照佳能的說法,除芯片精細化以外,封裝的高密度布線也被認為是實現高性能的技術之一。可以預見,隨著對更高性能半導體器件的先進封裝需求的增加,后道工藝中的半導體光刻機市場將繼續擴大。orP28資訊網——每日最新資訊28at.com

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