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25年來(lái)重大更新!尼康推出5倍縮小的i-line步進(jìn)式光刻機(jī)NSR-2205iL1

來(lái)源: 責(zé)編: 時(shí)間:2023-09-02 18:19:44 414觀看
導(dǎo)讀8月31日消息,尼康公司通過(guò)官網(wǎng)發(fā)布公告稱(chēng),將推出型號(hào)為“NSR-2205iL1”的5倍縮小的 i-line 步進(jìn)式光刻機(jī),該產(chǎn)品將用于制造電力和通信半導(dǎo)體以及 MEMS 等各種器件。與現(xiàn)有的尼康 i-line曝光系統(tǒng)相比,NSR-2205iL1 具有出色

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主要優(yōu)點(diǎn)hTo28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

1、提供卓越的經(jīng)濟(jì)承受能力,同時(shí)支持各種需求hTo28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

NSR-2205iL1 將提供高生產(chǎn)率,同時(shí)通過(guò)使用多點(diǎn)自動(dòng)對(duì)焦 (AF) 的高精度晶圓測(cè)量、先進(jìn)的晶圓平臺(tái)調(diào)平(通過(guò)傾斜放置晶圓的工作臺(tái)來(lái)校正曝光期間曝光圖像平面和基板表面之間的偏移的機(jī)構(gòu))和寬 DOF(擴(kuò)展的焦深范圍)來(lái)優(yōu)化各種半導(dǎo)體制造工藝的良率水平。此外,由于其晶圓厚度和尺寸兼容性、高晶圓翹曲容限以及靈活的功能(包括但不限于支持 碳化硅和 氮化鎵加工),它非常適合各種應(yīng)用。NSR-2205iL1 i-line 步進(jìn)機(jī)將提供卓越的經(jīng)濟(jì)性,同時(shí)滿(mǎn)足芯片制造商的多樣化要求。hTo28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

2、與現(xiàn)有產(chǎn)品和晶圓廠運(yùn)營(yíng)兼容hTo28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

NSR-2205iL1 可以與現(xiàn)有晶圓廠運(yùn)營(yíng)兼容,在晶圓廠中擁有尼康 i-line 曝光系統(tǒng)的客戶(hù)可以繼續(xù)利用現(xiàn)有的資產(chǎn)和運(yùn)營(yíng),例如光掩模和晶圓曝光解決方案。此外,NSR-2205iL1 還可以補(bǔ)充或替換不再滿(mǎn)足制造要求的現(xiàn)有步進(jìn)式光刻機(jī)。hTo28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

3、專(zhuān)為長(zhǎng)期使用和可持續(xù)性而設(shè)計(jì)hTo28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

NSR-2205iL1 可以放心地長(zhǎng)期使用,因?yàn)槠湓O(shè)計(jì)采用通用商用組件,比以往更容易采購(gòu)零件,并為未來(lái)提供更可持續(xù)的光刻解決方案。hTo28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

編輯:芯智訊-林子hTo28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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