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盛美半導(dǎo)體推出涂膠顯影Track設(shè)備

來(lái)源: 責(zé)編: 時(shí)間:2023-11-30 17:31:09 331觀看
導(dǎo)讀盛美上海作為具備世界先進(jìn)技術(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備制造商,在第102屆中國(guó)電子展上展示了其新產(chǎn)品。盛美上海已經(jīng)擁有豐富的產(chǎn)品陣容,包括單晶圓及槽式濕法清洗設(shè)備、電鍍?cè)O(shè)備、無(wú)應(yīng)力拋光設(shè)備、立式爐管設(shè)備等。最近,盛美上海成

盛美上海作為具備世界先進(jìn)技術(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備制造商,在第102屆中國(guó)電子展上展示了其新產(chǎn)品。盛美上海已經(jīng)擁有豐富的產(chǎn)品陣容,包括單晶圓及槽式濕法清洗設(shè)備、電鍍?cè)O(shè)備、無(wú)應(yīng)力拋光設(shè)備、立式爐管設(shè)備等。kSV28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


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最近,盛美上海成功推出涂膠顯影Track設(shè)備,標(biāo)志著該公司已正式進(jìn)軍半導(dǎo)體前道光刻領(lǐng)域。該設(shè)備采用垂直交叉架構(gòu),形成差異化競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),可支持拓展至12個(gè)涂膠腔體及12個(gè)顯影腔體,每小時(shí)晶圓產(chǎn)能可達(dá)300片。盛美上海已經(jīng)向中國(guó)國(guó)內(nèi)的邏輯客戶(hù)交付首臺(tái)ArF工藝的前道涂膠顯影Track設(shè)備,并開(kāi)始著手研發(fā)KrF型號(hào)的設(shè)備。kSV28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


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盛美上海新推出涂膠顯影設(shè)備,將在多客戶(hù)之間進(jìn)行平行驗(yàn)證,有望提高設(shè)備的放量速度。自2024年開(kāi)始,涂膠顯影設(shè)備將成為盛美上海未來(lái)業(yè)績(jī)成長(zhǎng)的新增長(zhǎng)曲線(xiàn)之一。kSV28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


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此外,盛美上海還推出了擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的Ultra Pmax等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備,該設(shè)備具有更好的薄膜均勻性、更優(yōu)的薄膜應(yīng)力和更少的顆粒特性等特點(diǎn),可滿(mǎn)足不同工藝和產(chǎn)能需求。盛美上海一直堅(jiān)持“技術(shù)差異化”發(fā)展戰(zhàn)略,不斷推出差異化的新產(chǎn)品、新技術(shù),提升公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力,擴(kuò)大公司的收入和利潤(rùn)規(guī)模。kSV28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com


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